二手 STOELTING / TREK / WESTEK Triton #9294937 待售
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ID: 9294937
优质的: 2007
In-line aqueous cleaner
Conveyor, 30"
DI Water cabinet
(2) 15 HP Wash motors
(2) 25 HP Dry blowers
Breaker, 34 A
Drip pan
Power supply: AC 460 V, 125 A
2007 vintage.
STOELTING/TREK/WESTEK Triton是满足最苛刻晶圆加工需求的理想解决方桉。这种高端设备是专门为优化晶片加工而设计的,从制图到吸附再到脱晶。它高度自动化,具有多种高级控制功能。TREK Triton由加工室和洁净室两个主要部分组成。该工艺室包含一个用于移动晶片和工艺组件的自动化输送机系统,以及自动化的模具和装载系统。自动输送机装置能够连续和停止移动,以处理各种模具系统和基板尺寸。自动化的模具系统包括UV、激光、电镀系统,各种加载系统可以换出来进行大规模生产。洁净室包含均匀照明和排气系统的组合,以确保晶圆处理的持续清洁环境。WESTEK Triton还可以配备控制清洁室温度、湿度和颗粒计数的软件。此外,STOELTING Triton还具有先进的工艺监控和计量系统,以提供晶圆工艺的实时监控。该机旨在提供对过程的直接反馈,使操作员能够快速反应,优化晶圆过程。该工具还利用先进的机器人技术来处理各种晶片材料,包括光致抗蚀剂、砷化氙和其他专用材料。Triton可以处理所有的标准晶片几何形状,并且可以用于多种工艺室,包括真空处理、蚀刻和介电装置。最后,STOELTING/TREK/WESTEK Triton提供了一个用于控制、监控和分析晶圆处理的高级软件资产。该模型能够控制晶片从图样到吸附再到脱晶的过程。它可以用来分析基板,分析过程结果,跟踪库存和工具,等等。总体而言,TREK Triton是一款先进的晶圆处理设备,提供最大限度的过程控制、先进的计量和先进的机器人技术。它是要求最苛刻的晶圆加工要求的理想选择。
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