二手 STOELTING / TREK / WESTEK Westkleen Formula 2RS3 #197438 待售

STOELTING/TREK/WESTEK Westkleen Formula 2RS3，常被称为WestKleen是TREK设计的晶圆加工设备，TREK是一个高精度和可靠晶圆加工设备的制造商。WestKleen旨在在晶圆处理环境中使用时提供最大性能。该系统采用先进的光学检测技术和固定位置的送料批次清洗工艺，在一个周期内彻底清洁晶片。完整的两步过程使设备能够清洁日益复杂的半导体表面结构。前端操作员控制模块为操作和监控机器提供了用户友好的图形用户界面，使编程变得简单高效。WestKleen的固定位置送料批次清洗过程通过提供对化学分配和冲洗系统的精确控制，确保了可靠、可重复的晶片清洗结果，无论晶片几何形状如何。化学分配工具由两个精密计量泵、两个精密喷枪和一个炮塔喷嘴组成，在清洁过程中提供精确的化学注入。两个独立的高压冲洗系统提供溶剂输送和冲洗能力。资产还具有一个专有的光学检测模型，可以连续测量每个晶片的清洁状态。该设备确定每个晶片的清洁时间,并可以提醒操作员,即使在执行了额外的化学分配或冲洗循环之后,任何晶片仍不干净。WestKleen也有高速晶圆传输系统。它容纳了八个管状晶圆传输带，这些传输带高速携带多个晶圆到每个站。运输装置设计为以高达800个条件/小时的速度运行，每晶圆的总运输时间少于5秒。WestKleen还配备了先进的安全机器，其中包括检测任何异物的传感器，并提供三级安全保护。除非关闭所有保护盖并激活所有安全传感器,否则无法操作该工具。TREK Westkleen Formula 2RS3是一种革命性的晶圆加工资产，提供可靠、可重复和精确的清洗过程。它旨在为晶圆处理应用提供最大的性能和安全性。