二手 SWAGELOK SWS M100-1 #9076772 待售

SWAGELOK SWS M100-1是一种精密自动化晶片处理设备,旨在高效处理200 mm以下的晶片。SWS M100-1占地面积仅为102 x 52 cm,总重量为31 kg,可轻松配置为适合现有的清洁空间布局,并集成到自动化生产系统中。该系统具有三个2D机器人拨片和放置头,允许每个组件的独立操作,包括晶圆传输、盒式磁带安装、晶圆居中和检查。此外，设备还配备了先进的工艺控制器，可以独立调整各种工艺参数，以满足特定的晶圆性能要求。光电传感器用于检测何时接收晶片或将其放置在目标上，而两个集成的红外内置传感器检测是否存在用于安装的盒式磁带或用于拆卸或放置的晶片。卡带或晶片的检测触发适当的机器人头部进行一个过程步骤，允许各种操作之间的无缝过渡。SWAGELOK SWS M100-1具有可变速度传输,允许0.5至30米/分钟的速度,具体取决于周期时间和生产需求。机器人手臂的最大加速度为6m/s ²。此外，机器的吞吐量高达70晶圆/分钟。SWS M100-1结合了成熟的机械部件以及先进的运动和视觉控制系统,旨在确保晶圆处理的顺畅和准确。机械臂配置有特殊的导轨工具，以确保精确移动，视觉资产配备广角高分辨率摄像头，以确保最佳对准和晶圆居中。此外，传感器采用IP67级密封，可防止灰尘和水的损坏。易于操作的工程面板支持的易于使用的软件为操作员提供了一个用户友好的界面来设置参数以及监视模型状态。该设备还配备了自动诊断系统，旨在方便识别和解决潜在问题。SWAGELOK SWS M100-1的设计考虑了安全性,包括各种有助于保护操作员和环境安全的功能,包括针对设备错误的可听和可视警报、机械部件的自我诊断、按钮紧急停止功能以及用于快速手动操作的电子停止按钮。综上所述，SWS M100-1是一种先进的自动化晶片加工机，有助于对200 mm以下的晶片进行高效处理。该精密工具具有坚固的机械和电子设计,经过优化,可用于各种生产环境,以实现精确可靠的晶圆处理。