二手 TAESUNG TSG-JET-250 #9233636 待售

TAESUNG TSG-JET-250是一种多用途、自动化的晶圆加工设备,用于各种晶圆制造工艺.它是一个由多站处理站组成的单一系统。设计用于洁净室环境，该单元适用于许多不同的工业和半导体应用。TSG-JET-250具有模块化设计,可根据特定应用程序轻松定制。它具有高精度全伺服机，以非常精确的速度移动每个站。这样可以实现严格的公差和高产率,并且产品损失最小。主控制器板提供实时数据监控和数据记录，能够访问各种类型的多氯联苯和晶片进行过程控制。TAESUNG TSG-JET-250装有自动晶圆传输机器人，用于将晶圆送入和送出加工站。机器人基于磁性技术，因此在加工过程中不会对晶片造成任何潜在损害。它还具有真空冲洗和吹干能力，可以去除晶片中残留的溶剂或其他污染物。该工具还包括一个集成的在线晶片检查模块，用于晶片的实时检查。它配有三个激光聚焦系统，用于检查过程参数的最佳控制。此外,该资产还提供自动数据收集和记录以及数据分析功能,用于流程后评估。TSG-JET-250还具有除尘模型。它由特殊的过滤器组成，在处理过程中清除芯片上收集的灰尘颗粒。此外，该设备还包括用于控制静电水平的静电屏蔽系统，以及防止晶片在运输过程中跳动的软锁机构。总体而言，TAESUNG TSG-JET-250是一个先进可靠的晶圆处理单元，旨在为各种工业和半导体应用提供精度和高产率。凭借其集成的在线检测模块、除尘机等功能，TSG-JET-250使得晶片处理更加轻松高效。