二手 TAESUNG TSG-SE-250 #9233640 待售

TAESUNG TSG-SE-250是为加工晶圆而设计的最先进的设备。该系统采用OPC（开放平台控制）等高级流程分析方法,对流程输入和输出进行跟踪和分析。TSG-SE-250台机器具有预先配置的模块化布局,可容纳来自同一平台的最多五个同步加工工具,这意味着它可以同时处理相同的复杂晶圆制造过程。TAESUNG TSG-SE-250的设计具有多种安全和工艺特点。气动闸门工具确保每个腔室在晶圆加工过程中保持在安全的大气压，并限制污染。此外，该资产还配备了一个精确的警报模型，当任何舱室由于大气压力不当而有损坏的危险时向用户发出警报。TSG-SE-250在加热和冷却方面也很高效。设备配有两台高效冷却器，在整个过程持续时间内保持恒温。这样可以确保整个工艺链得到良好维护,并促进整个系统中的热传递。此外，该机组还配备了精确校准的氮气流动机，提供了优化的冷却和加热循环，同时确保了针对电极损坏和温度梯度的最佳热防护。TAESUNG TSG-SE-250的核心是OPC工具，它与集成过程监控资产协同工作，对所有过程条件进行实时分析。完整的模型通过以太网连接连接到OPC服务器，允许方便的数据记录和快速的反馈进行分析。设备使用嵌入式工业级传感器在整个晶圆处理过程中测量压力、电流和温度。这有助于确保安全、精确地执行所有过程,从而提高产量和产品质量。总之，TSG-SE-250是一个先进的系统，旨在处理晶片的精度和安全性。配备集成监控单元、高效制冷机、精准报警机、OPC工具，这一资产能够提供最高性能、高收益、高品质的产品输出。有了这些特点，TAESUNG TSG-SE-250是任何晶圆晶圆厂工艺的理想选择。