二手 TAKANG VMC 760 #149977 待售

TAKANG VMC 760是一种多功能晶片处理设备，旨在帮助方便生产优质晶片。该系统能够在一台机器中执行各种操作，包括旋转涂层、浸渍、蚀刻、光刻和旋转干燥。此外,VMC 760还包括一个机械臂,可用于在过程的各个阶段之间以及特定于手头操作的各个工具之间自动传输晶片。由于机械臂的自动化性质，TAKANG VMC 760可以快速准确地控制高达200毫米（8英寸）晶圆的运动，可用于多种操作。此外，VMC 760还配备了强大的蚀刻单元，配有两个巨型蚀刻系统，实现了III型或IV型抗蚀层的蚀刻。TAKANG VMC 760还附带模拟软件，帮助用户准确调整和调整压力、浓度、流量等参数，确保最高质量的结果。机器还配有光电子，用于监测蚀刻过程中晶圆的温度和速度，有助于确保每次结果一致。此外,还有一个多层对齐器,用于确保最多12层晶圆的正确对齐,这意味着晶圆无论复杂程度如何,都可以正确处理。在蚀刻过程之外,VMC 760允许用户执行旋转涂层、光刻和旋转干燥。旋转涂层工艺使用精密润滑喷嘴将一层薄薄的材料涂在晶片上，之后将晶片转动到精确的速度，使材料均匀分布。类似地，光刻选项被用于利用紫外线、氧化膜和其他材料在晶片表面上创建精细的特征。最后，自旋干燥过程除去晶片上存在的各种操作完成后的水分。总之，TAKANG VMC 760是一款功能强大的晶圆处理工具，配有机械臂、彷真软件、光电、多层对齐器。这些功能使得这台机器非常适合生产优质晶片，减少生产时间，有助于确保每次结果一致。