二手 ULTECH Ultrsonic #9153462 待售
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ID: 9153462
LED Equipment cleaning system
Includes
(3) Ultrasonic generators
(1) Control module
(3) Regulators
(1) Pressure gauge
(3) Selenoid valves
(1) PLC.
ULTECH超声波晶片处理系统用于制备和清洁半导体制造晶片。这些系统提供了一种可靠和可重复的方法，用于去除晶圆表面的残留物，并用于制备用于粘合目的的表面饰面。ULTECH Ultrasonic晶圆处理系统的基本设计由声音换能器、储罐和控制器组成。声音传感器设计用于产生和传输超声波，从而提供分解和清除晶圆表面污染物所需的能量。罐内装有清洁液，通常是水，并加入特殊化学物质以降低静电水平。控制器单元被编程为控制声波的频率、振幅和持续时间，这些声波将用来传递清洁所需的能量。ULTECH工艺产生的超声波在去除微生物、无机和有机污染物方面非常有效。波浪传播到晶圆表面，并引起空化效应，使表面的污染物松散。水箱中清洁剂的搅拌进一步加强了清洁过程，有助于分解污染物并使其远离表面。除去污染物后，晶圆的表面光洁度也可以控制。这是通过调整换能器产生的声波的频率、幅度和持续时间来完成的。通过使用较低频率的波，可以实现精细、均匀的光洁度。这种光洁度用于便于包装设备的粘合，是可靠的回磨工艺所必需的。ULTECH超声波晶圆处理系统被用于广泛的行业，包括航空航天、汽车和医疗，以及半导体器件的制造。该系统易于使用，为晶片表面的制备和清洁提供了一种经济高效、可重复和可靠的方法。
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