二手 VICOSONIC VS11 800 #9303676 待售
网址复制成功!
单击可缩放
VICOSONIC VS11 800是一种最先进的晶圆处理设备,专为在各种环境中的性能和精度而设计。配备了具有机器人晶圆处理、晶圆清洗模块、高级软件控制和模块化集成真空单元的集成负载锁定系统等先进功能,VS11 800是自动晶圆制造的强大工具。具有机器人晶圆处理功能的集成负载锁定机可以实现装卸过程的自动化。大型载荷室最多可同时容纳10个晶片,而按人体工程学设计的装载机/卸载机模块可提供自动化操作和方便地进入腔室组件。可调室盖可实现精确的压力控制和真空均匀的样品载荷。晶片清洗模块集成到VICOSONIC VS11 800中,为一次处理和清洗多个晶片提供了完整的解决方桉。离子束蚀刻器用于使用溅射工具清洁晶圆表面。专门的真空罐捕获并清除清洁过程中可能存在的颗粒和其他残留物。可在触摸屏监视器上使用的集成软件控件可以方便地设置和编程整个资产,以优化处理参数和操作效率。内存控制模型记住设备的操作条件,而分步指令可用于用户友好操作。模块化集成真空系统,结合先进的热控制,为蒸气压力提供精确、高效的控制。这提供了优越的,可重复晶片处理的结果,具有比手动加载方法更高的精度。VS11 800结合了世界一流的设备和创新的工程技术,为当今不断变化的半导体制造过程提供了一个强大而可靠的晶圆处理单元。VICOSONIC VS11 800以其精密的机器设计、先进的软件控制、高效的模块化真空工具,是自动化晶片生产的理想选择。
还没有评论