二手 VIRTIS Virsonic 100 #9082486 待售

VIRTIS Virsonic 100是一款革命性的晶圆工艺设备，旨在最大限度地提高晶圆后处理环境的效率。该系统旨在在一次运行中自动处理相同大小和厚度的多个晶片。它具有直观的用户界面,并具有全自动工作流单元,可最大程度地减少用户干预,同时最大限度地提高吞吐量。Virsonic 100由四个主要组件组成：样品旋转木马、晶圆托盘、加热室和冷却机。样品旋转木马将晶片固定在适当的位置并允许它们同时处理。晶片托盘在处理时牢固地固定晶片。加热室能够达到高达500 °C的温度，并提供均匀加热以进行精确的过程控制。冷却工具可以降低晶片的温度，以确保整个过程的均匀性。VIRTIS Virsonic 100具有高度模块化,可以根据用户需求进行定制。它提供了可配置的工艺步骤，如清洁和干燥、化学气相沉积、物理气相沉积和蚀刻。这允许用户根据其特定晶圆工艺要求自定义资产。该型号还配备了传感器，用于监控温度、压力和流量的实时信息，以便在过程的每个步骤中进行精确控制。Virsonic 100是广泛行业的理想晶圆加工设备。它提供了出色的可重复性和高吞吐量。其可配置的流程步骤提供了最大的通用性,使用户能够为其特定应用程序实现所需的结果。直观的用户界面和实时反馈为用户提供了对流程参数的完全控制，使他们能够最大限度地提高产量和效率。