二手 VWR 750 D #9082479 待售

VWR 750 D是一种最先进的晶圆加工设备，旨在满足半导体制造和研发（R&D）应用的需要。该系统可用于半导体生产生命周期的所有阶段，包括晶圆变薄、背磨、表面制备、化学机械平面化（CMP）和包装。750 D允许在前沿半导体元件的生产和开发过程中精确高效。该单元具有全方位的温度和压力性能选项,允许精确的过程调整和改进的过程控制。该机具有完整的CMP工作站，能够进行高级蚀刻加工以及金属沉积加工和抛光。自动化的温度控制工艺室允许精确的控制和可重复的工艺，以优化产量和减少周期时间。VWR 750 D包括广泛的预编程配方和批处理配置配置文件,从而实现了增强的流程设置和调度。该机器还提供自动晶圆升降机、输送机和搬运技术，以及晶圆尺寸的多个选项。该机器具有直观的用户界面，便于配置所有机器参数，并且可以编程为从多种来源运行。750 D采用了综合监测工具。这包括嵌入式流程监控资产,该资产具有一套在线流程分析工具。这些诊断工具可以快速识别和解决任何流程问题。此外,该模型还包括一套状态监视工具,可提供详细的设备统计信息、最新的流程信息和完整的可追踪性。晶圆加工系统的设计考虑了安全性和清洁性。密封装置可防止潜在有害物质进入加工室的污染。此外，该机器符合所有适用的安全规定，包括有毒气体排放标准。为提供稳定可靠的运行，VWR 750 D配备精密伺服驱动步进电机，以及隔振、低噪声减振设计。该工具还具有顶级机器人机制和自动化组件,可提高资产效率和准确性。750 D是一种高能力的晶圆处理模型，适用于半导体研究和生产应用。该设备的各种精密工艺控制选项、自动升降机和输送机系统、直观的用户界面以及全面的监控系统使其成为满足半导体生产和研究需求的理想解决方桉。