二手 XEI SCIENTIFIC Evactron 10 #293591322 待售

来自XEI SCIENTIFIC的XEI Scientific Esactron 10是一种用于精密和通用IC制造的尖端等离子体辅助晶圆蚀刻设备。其设计可提供高通量、高表面光洁度的均匀蚀刻和沉积。Evactron 10特别擅长制作优越的蚀刻轮廓,能够在不进行直通蚀刻的情况下进行高长宽比蚀刻。使用一系列先进的蚀刻技术, 包括直接等离子体、电化学和磁控管溅射,XEI SCIENTIFIC Esactron 10允许精确控制基板温度和气体流动, 以及允许用户通过使用各种可用的蚀刻介质来定制蚀刻配方以最适合他们的过程。与传统的蚀刻室相比，Evactron 10能够一次批处理多达20个晶片，大大提高了吞吐量并缩短了循环时间。除了提供卓越的蚀刻品质外，XEI SCIENTIFIC Esacuttron 10还包括一系列针对Prime IC制造优化的附加功能。其中包括功能强大的计算机控制自动化系统，用于优化蚀刻过程，以及易于设置配方以确保可重复性。这种自动化系统允许实时远程监控过程，并自动调整参数，使蚀刻条件保持在所需的范围内。先进的高真空真空技术允许在极低真空条件下，以及在超高阿西莫夫或超高热处理环境中对晶片进行处理。Evactron 10的高级诊断和控制系统还允许进行过程故障排除和优化。高级检测单元支持有效的过程控制,可提供有关过程条件的全面反馈,确保以最小的停机时间实现所需的过程结果。先进的诊断和控制系统有助于澄清与流程相关缺陷的根本原因，并为用户提供他们自信地最大限度地利用流程窗口所需的工具和信息。XEI SCIENTIFIC Evactron 10是一款先进的晶圆蚀刻机，设计高效生产，质量高。通过使用先进的自动化、强大的计算机控制系统以及先进的诊断和控制,Evactron 10确保了可重复、高质量的结果和卓越的过程控制。