二手 XEI SCIENTIFIC Evactron 10 #9282963 待售

XEI SCIENTIFIC Evactron 10是一种用途广泛、精密的晶圆加工设备,用于专业应用.它采用先进的电子束等离子体驱动的清洁技术，留下超清洁和无颗粒的晶圆表面。生产能力高达200毫米直径，这种高效的系统提供了最大的晶圆清洁性能。Evactron 10採用了强大的电子束源，产生高反应性的离子化氙子粒子，通过一系列的两级滤波器，造成乾燥的、以等离子体为基础的清洁过程。当暴露在电子束中时，粒子会形成一种带电的混合物，由​​移离子簇和非离子微粒充当清洁剂，在没有物理接触的情况下穿透和清除晶片表面的污染。典型的污染物包括氧化物、氮化物、碳化物和光致抗蚀剂残留物。XEI SCIENTIFIC Evactron 10提供简单的操作和简单的维护。它的用户友好界面允许快速设置操作参数,并且该设备旨在最大程度地减少维护停机时间。它可以配置有多种腔室、喷嘴和源组合，允许用户通过其应用自定义机器以获得最佳性能。除了标准晶片清洗外，Escavtron 10还可用于晶片纹理和蚀刻等附加工艺步骤。它速度快、占地面积小，是各种晶圆处理任务的理想选择。XEI SCIENTIFIC Esactron 10工具高度可靠,符合当前安全和洁净室兼容性标准。它旨在满足大批量生产要求,以实现统一、无缺陷的结果。XEI SCIENTIFIC的Evactron 10技术先进、结构坚固、设计经济实惠,是专业清洁应用的理想选择。