二手 ASM COE 139HD+IBE 139HD #9396108 待售
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ASM COE 139HD+IBE 139HD是为自动化制造和组装操作而设计的先进烤箱/炉。它是一种高温，具有CVD -/PCVD功能的烤箱/炉子，能够承受高达1475 °C的温度。该单元包括多区域温度控制、可变加热速率、可选氧气传感器、精密温度监测器等几个功能。其增强的过程控制能力意味着烤箱产生一致的结果，最小的风险灾难性沉积故障。炉子由铝制钢柜和陶瓷绝缘衬里制成。机组内部工作区分为20个区域，可独立加热。该炉包括一个优化的热消声器系统，该系统确保了均匀的温度分布和整个烤箱的均匀热分布。该系统有助于最小化温度变化和湍流，使炉子更加可靠和可重复。此外,还可以调整RF-Generator以允许一系列电源设置,从而使该过程能够针对不同的应用进行定制。烤箱还配备了几种防护系统，包括火焰探测器、温度过高防护，以及在紧急情况下自动停电。它还具有一个创新的流程监测系统，该系统记录流程数据以供进一步分析，并可用于优化流程。该设备还包括一个直观的图形用户界面，使操作员能够精确地控制和监视过程。总体而言,ASM COE 139 HD+IBE 139HD是实现高温过程自动化的绝佳选择。凭借其优化的设计、精确的监控和用户友好的界面，它是一个极其可靠的工具，能够提供精确和可重复的结果。它是控制从芯片制造到光学薄膜沉积等多种工艺的理想选择。
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