二手 TERA SEMICON TERA300CA #9241992 待售

TERA SEMICON TERA300CA
ID: 9241992
晶圆大小: 12"
优质的: 2011
Diffusion furnace, 12" 2011 vintage.
TERA SEMICON TERA300CA是钻石行业和其他先进半导体市场中用于退火和回流加工的一种经现场验证的封闭性输送机炉。TERA300CA是一种非常高效、快速退火炉,具有优异的温度均匀性和极好的现场性能,满足最苛刻的工艺要求。TERA SEMICON TERA300CA利用双输送机设计来确保晶圆的同时并行处理和最佳的吞吐能力。双输送机的并行过程减少了循环时间,缩短了装置循环时间达40%。该设备能够在同一炉中处理多达90%的核准晶片,以始终如一地产生高产。TERA300CA还提供了卓越的温度均匀性和控制性,精度为+/-5°C。整个辐射热系统采用四个独立控制的环形加热器,其形式为五个带级联加热器控制的同心圆形加热器环。这些控制可以调整为最高效率和精确的温度控制。TERA SEMICON TERA300CA还配备了高精度石英压力传感器,能够控制± 0.0008毫巴的气流。TERA300CA还具有一个自我诊断单元,它可以检测机器的不规则性,并提醒操作员采取纠正措施。此自我诊断工具可确保TERA SEMICON TERA300CA随时间推移的最高效率和优异性能。为了保持最佳工作温度,TERA300CA还包括温度平衡资产和热电偶,用于测量实际温度和设定温度。这样可以确保炉子里的产品达到最高质量标准。TERA SEMICON TERA300CA专为便于安装和维护而设计,可通过可选升级进行定制以满足客户需求。炉子安装方便,需要最低限度的维护和维修。客户可以选择大量的集成工具和测试软件来调整和校准模型。TERA300CA还配备了安全功能,例如热关闭开关,可确保设备发生故障时的安全。炉子的外盖采用双层,防止散热,用户可以选择可选的隔热板,进一步保护用户和设备免受高温影响。TERA SEMICON TERA300CA是一种行业认可、高效可靠的半导体和金刚石退火炉/炉。输送机独特的设计,出色的温度控制,有限的维护和综合的安全特性,使TERA300CA成为各种工艺的可靠和经济实惠的退火炉。
还没有评论