二手 VISION SEMICON VS-02CM #9278719 待售

VISION SEMICON VS-02CM是一种用于半导体制造过程中高温应用的烤箱/炉。它设计紧凑,易于安装在标准尺寸的工具柜或工作站中。这种烤箱/炉用途广泛，能够用于真空过程、快速热处理和扩散处理。VS-02CM有一个专利平面加热器，由钼二硅化物，与Nomex绝缘可靠和一致的性能。它提供25°C至1200°C的连续工作温度范围，加热速率高达150°C/min，视所需的目标温度而定。VISION SEMICON VS-02CM还采用了热墙设计,用于整个腔室的均匀加热模式。集成石英管提供在加工过程中所需的氮气、氢气、氧气或其他气体的计算体积流。微处理器控制器允许用户对温度和气体流量设置进行编程。立方反应室可实现最佳的温度均匀性和控制,传感器提供由控制器监控的反馈,以便调整和保持所需的温度曲线。VS-02CM的设计中集成了各种安全功能,包括在用户过热时发出警报的电源警报、过热保护的可调限值,以及用于检测烤箱/炉子操作中错误和异常的多个传感器。此外,设备的标准锁定前面板可防止用户未经许可访问设备。易于编程、有效、可靠的VISION SEMICON VS-02CM烤箱/炉在半导体制造过程中提供卓越的热过程控制。凭借其节省空间的设计、Hot Wall技术以及集成的石英管输送，VS-02CM是任何希望提高性能的半导体晶圆加工设施的必备设备。