二手 VISION SEMICON VSP-88H #9122513 待售

ID: 9122513
晶圆大小: 8"
优质的: 2005
Plasma cleaners, 8" Vacuum pump: 1560L/min oil rotary pump with 300ß©/h booster Gas flow controller: Mass flow controller Internal chamber dimension: W 580mm x H530mm x D580mm Electrical power: 200 VAC, 3 Phase, 30A Loading capacity: (8) Magazines PC Based main control: Windows XP & C++ Language TFT LCD Touch screen Power source: RF Generator, 13.56MHz, 600W 2005 vintage.
VISION SEMICON VSP-88H是一种用于半导体制造行业的烤箱/炉。它是一种多功能、坚固的设备,具有出色的温度均匀性和可重复性。其温度范围高达1200 °C,可调坡度速率高达60°C/min编程,还可以提供高温快速恢复时间。VSP-88H具有可编程的自动化控制设备,专为过程控制、质量保证、智能数据制表和数据记录而设计。通过使用先进的PID补偿系统来保持温度的均匀性和可重复性。它还配备了用于跟踪和管理实验的高级软件。VISION SEMICON VSP-88H烤箱/炉的设计特点包括Delta T技术,该技术由围绕烤箱室的一系列坚固、刚性的砖组成,可以进行精确的热控制。为安全起见,它还有一个全身保温单元和一个带有互锁机的低泄漏密封门。此外,VSP-88H还有一个深冷工具,可以快速冷却腔室。这样可以防止热区达到极高温度时发生热冲击。它还拥有先进的计时器资产、真空密封模型以及用于绘制计算机曲线的计算机化设备。VISION SEMICON VSP-88H的设计还采用了全波注入系统,用于精确、均匀的加热控制,非常适合要求高温均匀性和可重复性的应用。烤箱有一个自动安全装置,在达到有害温度时关闭电源,还有一个手动安全机器,如果温度升高到预先设定的水平以上,用户可以控制工具并手动将其关闭。总之,VSP-88H是为半导体制造工业设计的烤箱/炉。其先进的温度均匀性和可重复性,以及通用的自动化控制资产,可在各种应用程序中高效可靠地使用。VISION SEMICON凭借其先进的定时模型、深冷设备、真空密封系统和计算机化绘图单元,VSP-88H具备确保一致结果所需的所有功能。
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