二手 VISION SEMICON VSP-88H #9189032 待售

VISION SEMICON VSP-88H
ID: 9189032
Plasma cleaner.
VISION SEMICON VSP-88H是专门为半导体材料热处理而设计的先进、高质量的烤箱/炉。它能够提供多种不同的加热过程,在温度控制方面具有优异的加热均匀性和准确性。VSP-88H配有现代加热元件,提供可靠高效的热能和良好的热稳定性。为了保证高热均匀性和准确性,VISION SEMICON VSP-88H采用了一种精密的温度控制设备,该设备采用了高精度PID(正比积分导数)比例积分导数)温度控制算法,具有很高的响应时间。这样可以确保温度在极高的精度范围内,在很长的时间内,以极高的温度稳定性来控制和管理。温度的设定和控制范围从室温到1000°C不等。VSP-88H设计可提供最大的系统正常运行时间,并具有先进的加热元件和均匀的加热表面,可确保工艺室无热应力。它还有一个空气喷射装置,使用专门设计的喷嘴在高温下吸入空气。这有助于最大限度地减少热扩散,最大限度地减少对基板的损害,这也有助于提高产量和产品质量。VISION SEMICON VSP-88H还配备了包括温度控制关闭和过温保护工具在内的综合安全机器。此资产的控制器在发生危险温度升高时监视和关闭烤箱。该型号还包括一个内置的互锁设备,当温度超过一定值时会切断进入加热室的通道。此外,VSP-88H还兼容一系列MFC(质量流量控制器)和热电偶,还可以连接到外围系统和过程监测系统,对热过程进行实时监测。烤箱也非常适合半导体应用,可用于氧化、反应、扩散和退火等多种过程。最后,VISION SEMICON VSP-88H是一种先进的高性能烤箱/炉,具有良好的加热均匀性和温度控制精度。其工艺范围和安全特性使其成为半导体材料热处理的理想选择。
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