二手 VISION SEMICON VSP-88H #9290575 待售

VISION SEMICON VSP-88H是为高级物理气相沉积（PVD）工艺而设计的高温溅射沉积炉。它是一种先进的熔炉，温度可高达1000 °C，能够沉积材料薄膜。VSP-88H非常适合于金、银、铜和其他贵金属的薄膜沉积，以及用于半导体工业中许多应用的多种材料的沉积。该VSP-88采用圆柱形不锈钢外壳和实心不锈钢工作室，采用电弧焊接技术进行均匀加热。它配备了一个电动起重平台，可容纳直径最大8英寸的目标，最大目标重量为13磅。该炉还设有一个自动控制器，用于精确控制腔室温度。VISION SEMICON VSP-88H以其加热的基板，也适合在升降平台上加热和控制直径达10英寸的基板。这种受控环境允许高度、倾斜度和旋转调整,以实现精确的目标与基板对齐。该VSP-88具有直观的触摸屏界面,可控制温度范围、溅射功率、气体流量、基板拼图、溅射过程时间和其他过程参数。控制器还配备了过温和低温警报的报警功能，以及内置的热安全联锁装置，以防范危险情况。烤箱装有隔膜真空泵，能够将压力水平保持在5 x 10-3 Torr以下，可从控制台调节。此外,它还配备了高频浮动电源,使金、银和铜能够通过均匀、高质量的薄膜溅射到基板上。总体而言，VSP-88H是一种技术先进的高温溅射沉积炉，旨在为各种材料基板上的薄膜提供可靠和一致的沉积。它具有广泛的温度范围和先进的控制特性，是实现可重复、精确的薄膜PVD工艺的有效工具。