二手 ATK EET-CD2017 #293616526 待售

ATK EET-CD2017是为薄膜沉积和封装应用而设计的电子束蒸发设备.该装置采用两步电子炮室，可实现最佳热控制和均匀沉积。拥有种类繁多的可用基板支架，适用于多种类型的基板，包括平坦和弯曲的基板、纤维和纤维束、胶带和薄膜纳米线，以及其他特别设计的基板。该装置包括一个密封环境的沉积室，确保可重复的工艺条件。集成的主百叶窗提供快速、精确的电子枪关闭，防止基板过早暴露。先进的真空泵送系统和排气装置确保低污染水平和无颗粒性能。集成质量流控制器允许对原料剂量进行精确控制，这对薄膜材料尤为重要。此外，该装置还配有冷却机和预级温度控制工具，为源材料对热敏感提供了最佳的热条件。前期温控资产允许样品冷却和电子枪加热，有助于消除热冲击。EET-CD2017由独特的可编程逻辑控制器（PLC）组成，提供广泛灵活的控制参数。这包括精密速度、温度和压力控制、先进的进给率控制、过程跟踪、监测排放/能量控制和自我参照等功能。此外，该设备还配备了最先进的安全模型，其中包括紧急通风设备和激光报警器。高级控制器采用图形用户界面,操作方便.控制器还有一个专门的脚本语言，用于创建过程配方，允许精确的沉积时间，温度和进给速率控制。为了极致安全起见，该系统附有CE标签，设计符合所有相关规定。综上所述，ATK EET-CD2017具有优异的性能、灵活性和安全性，适用于各种先进的薄膜沉积工艺。