二手 AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Hart AP #9177828 待售

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AMAT / APPLIED MATERIALS Centura Hart AP
已售出
ID: 9177828
晶圆大小: 12"
Deep trench etch's, 12".
AMAT/APPLICED MATERIALS Centura Hart AP反应器是一种专为光敏灰化和反应性离子蚀刻应用而设计的半导体蚀刻设备。这种化学惰性系统为蚀刻选择性要求提供了较高的吞吐量和精度。它是一个多合一单元,旨在降低资本和运营成本,同时提高准确性和准确性。AMAT Centura Hart AP反应器的蚀刻室由铝保护不锈钢构成,提供最大强度和长期耐用性。该机先进的设计具有密封室、两端电极、可调电极间距等特点。这些特性结合在一起可以实现均匀的蚀刻过程,具有可调气流和腔室压力控制。应用材料Centura Hart AP反应器具有精确蚀刻极薄层材料的能力。它以手动或自动化模式运行,经验证可重复性为0.01微米,温度范围为-79°C至38°C。此外,它的内置电阻率传感器提供了对蚀刻过程的精确控制。反应堆还具有直观的用户界面,使用户能够实时监控过程。先进的软件允许用户从异地界面控制和调整腔室压力、气流和电极间距。此外,此软件还包括高级安全控制和内置蚀刻配方,从而便于切换或调整工艺参数。Centura Hart AP反应器是一种强大的蚀刻工具,旨在满足最苛刻的光刻和反应性离子蚀刻应用。该资产由钢结构而成,具有极高的精确度,能够制造出极薄的层。直观的用户界面和先进的安全控制使其易于操作,随附的软件提供了多种蚀刻配方。此模型提供了最高的准确性和吞吐量,同时降低了资本和运营成本。
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