二手 ADVANCED ENERGY / MKS FI80133 #293601250 待售

ID: 293601250
Remote Plasma Source (RPS).
ADVANCED ENERGY/MKS FI80133是一种技术先进的低噪声电源,专为PECVD和溅射等薄膜沉积过程而设计。该装置具有0-800v和0-4000A的宽电压和电流范围,是生产制造高质量薄膜所需的精确可靠功率的绝佳选择。电源还具有低噪声(3mV以下)、快速上升时间(小于500 µs)、高稳定性和精度以及可调节的脉冲和爆裂功能等多种优点。MKS FI80133具有防止电压过低、电流过大故障和快速关闭的保护。这样可以确保安全运行,并在使用电源时增加可靠性。高级用户界面功能也包括在内,可通过4.3英寸彩色触摸屏显示器访问。这使用户能够自定义特定流程的性能参数并快速监控性能。还包括一个内部PC存储库,用于记录警报状态、日期和时间,以及向电源本身生成命令。该机组具有大于0.99的高功率因数,使其成为一个特别高效的电力供应商。它还具有低电压输入设计,并配有快速反应、低压功率修剪控制,最大限度地减少总谐波失真,最大限度地提高性能。此外,电源具有温度范围为0°C至+50°C、最大相对湿度为80%的高效冷却系统。综上所述,ADVANCED ENERGY FI80133是一种高度先进、可靠且高效的电源,专为薄膜沉积过程而设计。它具有多种用户界面功能、高功率因数、快速关机保护、温度范围控制等功能。
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