二手 ADVANCED ENERGY RF 30S #9111631 待售

ADVANCED ENERGY RF 30S是一种电源，提供许多製造过程所需的恒定稳定的RF（射频）功率，例如等离子体蚀刻和薄膜沉积。它被设计为可靠且在具有恒定输出潜力的高性能应用程序中运行。ADVANCED ENERGY RF30S配备输出电压范围为4至15 KV，峰值电流最高可达350​​}A，最大输入功率为800 W，可提供许多应用所需的高功率。RF-30S电源还提供了广泛的保护。它有一个检测电弧和闪光的综合设备，并有一个可选的气体流动监测系统，以持续监测工艺室。此外，它还配备了先进的偏置控制，以提高薄膜的完整性和复杂几何形状的过程可重复性。电压斜坡和用户可选择的软启动时间提供了关机后安全、渐进地返回到全峰值电流。ADVANCED ENERGY RF 30 S还配备了高级功能，对流程参数提供更多的控制和定制。可调频率范围为13-70 MHz,最大功率可达800 W,可编程自动调谐,可调节脉冲长度和脉冲准时,可进行短脉冲操作,以及可编程速度为0.1-6 V/µsec,用户可以更好地控制提供给工艺室的功率。RF 30 S电源还内置了超过温度和超过电压的保护功能,以及便于故障检测和故障排除的报警单元。它与基于Windows的软件兼容，允许通过一个简单的用户界面完全控制机器。ADVANCED ENERGY RF-30S还具有一个大的彩色液晶显示屏,它允许完全控制参数,并允许在需要时显示图形趋势。总体而言,RF 30S是工业应用中电源的绝佳选择。其可靠的性能、先进的功能选项和一系列安全功能使其成为许多制造工艺的理想选择。