二手 LAM RESEARCH 853-015130-103 #75704 待售

LAM RESEARCH 853-015130-103是一种用于薄膜沉积技术的高性能电源。该单元设计用于高精度薄膜沉积工艺和相关的薄膜表征应用。它具有多种最佳薄膜沉积的关键部件,如无调节电源、有源滤波器和温度控制模块,以及具有高级安全特性的控制器。这种电源设计多种多样，可用于各种工具，从真空溅射工具到电子束蒸发系统。853-015130-103的不受调节电源模块（UPS）可以提供连续可靠的输出功率,即使在广泛的线路和负载条件下也能提供最小的波纹。有源滤波模块可减少凹口畸变，从而干扰薄膜沉积过程。温度控制模块通过向腔室提供恒定电压来帮助维持所需的处理温度。控制器单元带有先进的安全系统，包括电压不足保护电路、短路保护和过热保护。此外,它还具有复杂的监控功能,可确保每个进程都能准确高效地运行。其液晶显示屏和面板安装的LED为操作员提供了方便地访问各种机器和工艺状态指示灯。LAM RESEARCH 853-015130-103电源设计用于在广泛的应用中持续可靠的运行。它具有一定范围的电压输出（0-600 V）和电流输出（0-100A）。它还配有集成状态警报继电器、LED指示灯和内置超载断路器。它旨在以最小的时间延迟提供出色的控制,从而最大限度地提高生产率。总之,853-015130-103是薄膜沉积工艺的优良电源.它具有一系列关键组件以实现最佳性能,并包括一系列高级安全功能。它还具有一系列电压和电流输出以及一个精密的监测系统，以确保准确性和效率。该电源具有可靠耐用的设计,非常适合广泛的工业和研究应用。