二手 MKS / ASTEX FI20656-1 #293645389 待售

製造商
MKS / ASTEX
模型
FI20656-1
ID: 293645389
Remote Plasma Source (RPS) LAM P/N: 27-149580-00.
MKS/ASTEX FI20656-1是一种高性能电源,专为半导体行业的多个应用而设计,包括辐照和trans变系统。它能够提供高达10千瓦负载的可调直流功率的400V和600A。MKS FI 20656-1独特的设计允许在全功率范围内精确控制电流和电压,并具有90至260 VAC的宽输入电压范围。它有一个内置的温度控制器,根据环境温度调整输出电压和电流,以提供一致的功率输出。ASTEX FI20656-1设计有一个可靠、易于使用的控制系统,用于半导体工艺的可靠操作。它独特的数字控制面板,配有一整套菜单和按钮,用户可以轻松选择所需的电压、电流、电源设置和其他操作参数。数字接口还提供了一系列保护功能,包括过电压和过电流保护,以及通过前面板显示屏上的LED指示灯监控输出电源。FI20656-1还使用专有技术最大限度地减少辐射和传导噪声,防止电弧,这在大功率电源中很常见。其先进的电子元件使用EMI(电磁干扰)抑制技术来保持低噪声水平,使其成为在嘈杂区域操作的理想选择。该装置还配有保险丝保护系统,在过载时关闭电源装置。在性能方面,MKS/ASTEX FI20656-1在全功率范围内提供出色的功率调节和线性响应。精密负载和线路调节小于1%,温度保护高达100%。其先进的保护和安全特点也保证了机组的安全运行和延长使用寿命。综上所述,MKS FI20656-1是为半导体工业应用而设计的先进电源单元。它具有易于使用的数字接口、精确的负载和线路调节以及出色的噪声抑制功能。其先进的防护和安全特性也保证了安全运行,延长了机组使用寿命。
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