二手 SEMITOOL STI-15A-60V-4-AW #9351299 待售

SEMITOOL STI-15A-60V-4-AW光刻设备是一种创新的工具，旨在为集成电路（IC）制造提供可靠、专业、高精度的光子蚀刻解决方桉。该自动化系统配对高压电源和软件控制的蚀刻工具,该工具使用一系列不同的蚀刻技术在任何给定尺寸的晶片上产生均匀的介电层,在工业上具有最高的精度和可重复性。STI-15A-60V-4-AW单元采用先进的湿法加工和干法蚀刻相结合，以确保每个应用程序都有尽可能最准确的蚀刻。首先，将化学凝集剂施加到晶片上，这有利于光致抗蚀剂材料的粘附。然后将晶片暴露在恒定的高压下，在光致抗蚀剂材料中诱导光化学反应。一旦光致抗蚀剂暴露在电压下，晶片就通过依赖超纯化学浴的先进湿蚀刻方法进行处理。对蚀刻工艺进行了优化，以解决由于晶圆尺寸不同造成的蚀刻速率差异。接下来，用干蚀刻完成蚀刻过程，创建最终的介电层。这种干燥蚀刻工艺利用数字化版本的强等离子体快速智能蚀刻电介质，精度高达十分之一微米。蚀刻深度和所需介电厚度之间的紧密公差允许近乎完美的生产运行。最后，对蚀刻表面进行清洗，准备进一步处理。控制SEMITOOL STI-15A-60V-4-AW机器行为的软件提供了对蚀刻时间、电压和温度等参数的精确控制,以及对刀具的掩模输入。此外，集成的纠错算法有助于减少自然错误和人为错误导致的错位问题，直观、流线型的图形用户界面允许轻松操作和高效生产。总而言之，STI-15A-60V-4-AW光致抗蚀剂资产为不同尺寸的晶片基板上的介电层的生产提供了卓越的精度和可重复的精度。湿蚀刻和干蚀刻的结合允许对过程进行更大的控制，而集成的软件和图形用户界面提供了便利和灵活性，为成功的生产运行提供了必要的便利。