二手 ACCRETECH / TSK APM-90A #9236077 待售

ACCRETECH/TSK APM-90A prober是前端半导体和光电工业中使用的一种用途广泛、精度很高的探测设备。它旨在快速、精确地测量小型器件的特性，并控制精密晶圆级元件的对准过程。该系统建立在一系列可容纳多达7个轴的轻量级铝基之上，包括一个独立驱动的x-y- θ（θ是角位置）级、两个聚焦级、一个ASU（一个自动级单元）和两个接触探头。每级的射程为+/-8.8毫米，最大速度为10毫米/秒，受力范围为0-2.3 N，步长为0.01 µm。它能够精确对准和测量低至50 µm的探针,从而能够自动分析设备深度、宽度、角度和外延等参数。Prober使用1600 mm x 1250 mm光学表提供了一个精确对准和低失真操作的稳定平台。它还包括四个用于平面晶圆对准的数码相机和四个用于探测过程中位置反馈的编码器。控制器能够控制多达六个独立的电动机，这些电动机的设计目的是在对准和探测过程中减少振动噪声。Prober与自动晶片处理单元集成在一起，该单元旨在减少错误并消除手动操作。机器可以在x、y和θ方向上将晶片移动到45mm，同时将可能影响测试数据的振动效果降至最低。Prober还包括一个可配置用于单个设备测试的板载激光深度控制,并提供10nm的测量精度。Prober还包括一个6轴运动控制，能够控制多达12个接触探针进行各种测量。最后,设计了一系列真实的测试条件,以模拟实际生产环境并确保质量性能。