二手 ACCRETECH / TSK APM-90V #9314145 待售
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ID: 9314145
晶圆大小: 4"-8"
优质的: 1996
Probe station, 4"-8"
Hot chuck
Vacuum chuck: Nickel plated
Needle polish: Circle
No SACC
CPU Type: MVME 147S-1
Overall accuracy: Within 5 um
Fine alignment: CCD ITV Image processing
Hard disk: 3.5" 2HD (1.4M)
Display: 10.4" TFT Color LCD
X/Y-Axis:
Probing area: ±120 mm
Maximum speed: 200 mm/s
Z-Axis:
Full stroke: 34 mm
Maximum speed: 35 ms / 0.5mm Stroke
Θ-axis:
Rotation range: ±5°
Loader:
Casette mounts: 1 (Right single top)
Wafer Handing: Robot arm / Backside holding
Air supply:
Source pressure: 0.4 Mpa
Consumption: Approximately 0.1 liters / wafer
Vacuum supply: Less than -50 kPA , 30 l/min
Power consumption: AC 100V ± 10V, 50/60Hz, 1.5 kVA
Slot no / Board number / Board name
Slot 1 / MVME162 / Main CPU
Slot 2 / AVME-240 / Memory Board 128M
Slot 3 / - / EtherNet
Slot 4 / - / -
Slot 5 / TVME-322 FDC / SCSI / -
Slot 6 / - / -
Slot 7 / ITV / COGNEX4200
Slot 8 / FA0071A / Parallel In Out (PIO)
Slot 9 / FA0022C / XY Coordinater
Slot 10 / FA0037C / Sub - TTL / GPIB
Slot 11 / FA0139A / 5 Channels PGEN
Slot 12 / FA0132B / VGAC
Slot 13 / - / -
Slot 14 / FA0111 / CAP Sensor
Slot 15 / - / -
Slot 16 / AVME-115 / SLAVE CPU
Slot 17 / FA0013A / LD IO (Loader In Out)
Slot 18 / FA0014B / LD PGEN
1996 vintage.
ACCRETECH/TSK APM-90V是为执行晶圆测试、测量和探测而设计的prober。适用于直径200毫米以上的晶片，能够处理200多种晶片类型。Prober有高速晶片处理设备，具有光束滑动、多区和多区真空卡盘。卡盘采用静态-动态组合设计，提供高效可靠的晶圆保持。集成的热控系统保证了探测过程中准确的温度和重复性。该探头配有可识别模具型式的集成视觉检测装置，并为测得的晶片开发适当的探测路径。它有一个可快速分析数据的主动视觉机器，能够以更高的精度更快地测试时间。TSK APM-90V还配备了自动和手动（操纵杆）模式操作。在手动模式下，用户可以使用操纵杆将测试头移动到预先编程的位置，并进行校准、探测、测量和模具拾取。在自动模式下，用户可以对测试头的移动进行编程，以自动优化测试过程。Prober具有高级配方，允许用户根据自己的具体要求参数化不同的测试。它还具有内置故障检测工具,可以快速识别有缺陷的项目。嵌入式Microsoft Windows操作资产和综合软件程序增强了数据采集和分析能力。ACCRETECH APM-90V具有直观的操作接口,并带有一组接口,用于连接到其他设备和外围设备。这包括图形用户界面、Ethernet/RS232界面和USB端口。Prober还具有模块化设计,允许用户根据需要使用其他组件自定义或升级它。
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