二手 ACCRETECH / TSK Surfcom #9206329 待售
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ID: 9206329
Surface texture / Contour measuring instrument
TOKYO-SEIMITSU Granite surface plate
NEWPORT Isolation table.
ACCRETECH/TSK Surfcom是一个精密的prober,旨在为测量和分析半导体元件的表面特性提供一个成本效益高且可靠的解决方桉。该装置设计用于线路末端测试和晶片级探测,具有真空卡盘、空气射流、光学传感器和多轴运动控制器等内置特性,非常适合各种晶片探测应用。它可以测量各种特征,包括地形、表面光洁度和电气特性。TSK Surfcom的设计紧凑,占用最小的工作空间,并且易于集成到现有测试系统中。它使用多轴运动控制器,提供探头在样品上快速准确的移动和定位。该单元还具有用于测量尖端高度的简单校准,分辨率为0.001 mm。它还包括一个压电控制的卡盘,保持探针和样品之间的一致间隙。空气拼盘系统有助于防止样品翘曲,减少损坏易碎材料如光掩模的风险。ACCRETECH Surfcom还包括一系列分辨率高达0.5 µm的光学传感器。这些传感器测量表面特征,如平坦度、不均匀度和划痕深度,以及模模平行度和角半径。它还具有自动化的可编程扫描系统,可用于快速绘制表面特征,如偏差和地形。该单元还能够测量电性能,包括表面电势和电阻。它包括一组连接到外部电源的探针,能够测量样品上各点之间的电压或电阻。这可以用来检测微小的缺陷,并对样品进行电表征。总体而言,Surfcom是一款创新可靠的prober,可以为半导体器件提供准确的测量。它为终端测试和晶圆探针应用提供了经济高效且高度灵活的解决方桉。它具有多种特性,非常适合用于各种半导体研发、原型设计、批量生产和工程应用。
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