二手 ACCRETECH / TSK UF 3000 #293621716 待售

製造商
ACCRETECH / TSK
模型
UF 3000
ID: 293621716
晶圆大小: 12"
优质的: 2006
Wafer prober, 12" Process: V5400 Hot air Load port ATT A300T Air cooled chuck X,Y Overall accuracy: ±2.0 µm (Temperature stability: ±1°C) X,Y Stage accuracy: ±1.0 µm Z Axis stroke (Applicable stroke): 37 mm Z Axis control accuracy: ±2 µm Stage durability: 200 kgf Does not include Hard Disk Drive (HDD) Power supply: 120 AC, Single phase 2006 vintage.
ACCRETECH/TSK UF 3000是一种用于半导体器件表征和测试的高级仪器。它是一种模块化设备,可实现一系列探测功能,从手动的、基于接触的测量到自动化的、无接触的测量。此功能可用于多种设置,包括晶圆探测、封装测试、故障分析等。该系统采用改进的无触摸设计,并针对高精度探测进行了优化。TSK UF 3000不使用基于接触的探针,而是利用16通道扫描手指延迟线模块来收集数据。此模块能够以阵列格式以亚微米分辨率扫描整个晶片表面。这与深度蚀刻能力和超精度操作相结合,使其能够提供极高的精度和性能。该单元还具有一个4轴驱动级,可以在各种轴的亚微米尺度上精确移动。刀具的协调探头机提供手动和自动测量解决方桉。手动探测可以通过在晶片表面上悬挂探针和手动读取感兴趣的值来完成。自动探测利用工具的高级光学和计算机软件,以比手动方法更快、更准确的速度搜索和分析功能。这可用于检测缺陷,测量电阻、电容和热特性等参数。这些功能为ACCRETECH UF3000提供了广泛的应用。它可用于各种表征任务,如过程优化、设备性能分析、故障分析和生命周期测试。也适合大批量生产环境,可以整合到现有生产线中。它的无接触方法使其适合于洁净室环境中的晶圆探测和封装测试,其高精度和分辨率使其能够提供关于设备特性的详细数据。ACCRETECH UF 3000是一款高级处理器,可为各种半导体器件测试应用程序提供高精度、无接触的探测。它结合了先进的光学、扫描手指延迟线模块、4轴驱动级和集成软件,使其能够在各种设置中提供高精度数据。这使得它适用于一系列的过程优化、设备性能分析和故障分析任务,以及大容量的生产环境。
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