二手 ACCRETECH / TSK UF 3000 #9268061 待售
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ID: 9268061
晶圆大小: 12"
Wafer prober, 12"
Cold temperature
Side loader
X,Y Overall accuracy: ±2.0 µm (Temperature stability: ±1°C)
X,Y Stage accuracy: ±1.0 µm
Z-Axis stoke: 37 mm
Z-Axis control accuracy: ±2 µm
Stage durability: 200 kgf
Hot and cold chuck
SCU-600 Chiller
Temperature range: -40ºC to 150°C
No Hard Disk Drive (HDD).
ACCRETECH/TSK UF 3000是为晶圆测试和器件测量而设计的高性能prober。它具有300 mm或450mm螺旋桨卡盘和真空固定设备,以确保稳定可靠的晶片安装。TSK UF 3000也是为自动晶圆探测而设计的,并提供了一个可选的空气承载级,用于在整个探测过程中精确和可重复的晶圆位置。Prober还具有自动晶圆检查系统(AWIS)以提供详细的晶圆级测量。AWIS有一个二维视觉单元,可以沿着晶圆检测和测量多达64个分裂点。它还配置了高速数据采集机,支持广泛的电气、热、声和其他测试。ACCRETECH UF3000还有一系列用于高频射频探测、热晶圆探测和数字探测的探测解决方桉。其先进的数字探测站(DPS)支持快速、准确的参数和射频测试。DPS配备了多种支持装置,可处理多达10个触点。它还具有用于晶圆对准的内置光学显微镜和用于射频探测的高频模块。UF 3000还有一个功能齐全的触摸屏控制器,可以让用户快速设置并轻松访问晶圆测试程序和数据。控制器还允许用户从prober或主机计算机中选择和查看数据,并具有用于晶圆探针测量的集成单元集。控制器还将调谐参数、晶圆测试程序设置以及存储的数据存储在板载内存中。ACCRETECH/TSK UF3000是一种非常精确可靠的探测器,非常适合高生产率晶圆测试和设备测量应用。它专为高效晶圆探测、精确检测和详细测量而设计,是半导体器件测试和生产过程控制的绝佳选择。
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