二手 ACCRETECH / TSK UF 3000 #9354561 待售
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ACCRETECH/TSK UF 3000是一款功能齐全的prober,用于半导体行业,用于检查和测试半导体元件。Prober旨在提供广泛的分析功能,包括生产级探测、评估和精细探测、FIB横截面分析、晶圆映射和TEM样品制备。TSK UF 3000由多个模块组成,包括一个样本级、离子束控制、晶圆映射软件和晶圆对准控制。样品级设计用于硬质和软质样品处理,并带有可选的舞台内UV光源。晶圆映射软件具有符合人体工程学的用户界面和高速数据采集算法,可实现快速准确的实时映射。晶圆对准控制包括自动电平、轴对准和补偿等功能。该装置还包括一个离子束控制模块,该模块带有高精度XY驱动设备。该系统具有高容量的偏转单元、高精度的无击击XY和Z控制以及支持高速扫描的实时采样功能。离子束可用于深沟成像、横切、层蚀。此外,该机还采用了快速充电补偿工具进行样品保护。ACCRETECH UF3000还包括一个用于精细探测和高分辨率TEM样品制备的FIB(聚焦离子束)横截面分析模块。此资产可提供各种样品制备选项,例如背面蚀刻、背面提升、单向提升和薄膜蚀刻。最后,UF3000 prober还提供了全面的环境监测能力。这包括振动检测和分析,以及温度和湿度监测。这样可以获得一致的结果,并确保在最佳条件下执行所有测量。
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