二手 AXCELIS / FUSION 493095 #9216266 待售

AXCELIS/FUSION 493095是专门设计用于先进半导体制造工艺的先进探测设备，如3D封装、翻转芯片、硅、MEMS以及通过硅通过（TSV）技术。该系统能够处理大规模生产，支持各种各样的探测策略。FUSION 493095是一个强大的，交钥匙生产探测单元。它配备了多达四个探针卡，为半导体生产提供了高度的灵活性。使用每个探针卡,机器最多可同时进行四次测量,从而实现更高的收益率。刀具的晶圆对准能力确保了精确的探针接触和最小的表面失真，并通过其间接图像观察资产提供了更高的探测速度。该模型上的探针对准是通过使用检测晶片位置的间接观察设备扫描晶片表面来完成的。这一扫描过程是通过使用高分辨率激光对准结合高分辨率摄像机来完成的，该摄像机定位晶圆的中心及其特征。这种远景系统允许晶圆上每个模具的精确对准，从而最大限度地减少了生产探测过程中模模变化。AXCELIS 493095还配备了一个自动宏微伺服单元，用于补偿生产中的晶圆平面。其独立、微观和微观伺服能够调节探头位置，每步可达七微米，从而实现与晶圆表面的高精度接触。此外，它广泛的宏轨道库为各种探测技术提供了大量预定义和可定制的晶圆映射。493095包括具有完整PCI-Express通信接口的开放式体系结构设计,以及SCSI兼容性选项。它的软件环境允许安全的网络通信,允许各种网络功能,包括FTP、数字证书和加密密钥。这台机器还对可以监控的柔性参数阵列提供实时视觉反馈，并允许广泛的测试，包括晶圆测试、模具测试和重测模式。总体而言,AXCELIS/FUSION 493095是一款先进的高性能半导体制造工艺产品。其自动对齐和伺服系统确保了最高精度的探测,并且其完整的PCI-Express通信接口和SCSI兼容性确保了可靠的联网和实时反馈。它提供了高度的灵活性和控制,使其非常适合各种生产探测需求。