二手 ELECTROGLAS / EG 2001X #293604672 待售

ELECTROGLAS/EG 2001X是一种专为半导体晶圆测试和探测而设计的探测器。它由大型机、XY舞台、prober head和工作站组成。大型机为prober提供基础,并控制工作站、XY舞台和prober head。它配备了两个CPU和各种输入/输出接口。XY级提供晶片的精确且可重复的运动，用于测试设备的prober head组件。它是由两环电机控制系统驱动的伺服电机驱动级，精度为5µm。螺旋桨头为晶圆器件的测试提供3个运动轴，Z分辨率为10µm，可重复精度为10µm。Prober head配有手柄、气动驱动的prober arm、prober tip和自动对准工具。手柄用于在探测时操纵手臂和尖端，而气动驱动的手臂则提供对螺杆尖端的精细控制。prober尖端是探针与被测试设备之间的接口,而自动对齐工具用于定位和固定设备的探针尖端。工作站为操作员提供了一个图形用户界面（GUI）,用于设置和控制prober和XY阶段,以及从正在测试的设备收集数据。工作站还通过使用模式编程和晶圆映射软件来实现设备表征。它可用于处理和分析数据以评估设备性能。EG 2001 X利用多种技术来确保半导体晶片的准确和可重复的测试和探测。Prober的每个组件都是按照严格的规格构建的，系统设计为提供可靠和可重复的结果。