二手 ELECTROGLAS / EG 2080 #9278078 待售
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EG Technologies公司发布的ELECTROGLAS/EG 2080,是一款半导体电子工业产品,配备5轴运动设备。它兼具单向即时扫描和高速回溯能力。这确保了高性能晶圆探测结果与各方向的详细控制。Prober的高分辨率晶圆探测选项包括600 um和950 um垂直探测范围,分辨率为1 nm。为了进行探测,系统具有小至120 um的水平视场。这有助于提供市场上任何螺旋桨的最高分辨率,适合探测晶片表面的最佳特征。探针卡电气接口设计用于高速探测和测量,具有多种电气连接选项,如C型和M型探针以及弹簧触点。这允许通过单个连接器同时探测和操作。EG 2080还提供了自动和手动调整的选项,以设置电气接触力。ELECTROGLAS EG2080单元完全自动化,电源、电机控制和运动控制系统全部由ELECTROGLAS Work Station管理。这有助于自动化所有测试操作,包括自动自检、对准、接触和退刀。该机还包括探针pogo维护等功能。经过校准和控制的运动系统提供高达380毫米的5轴运动范围,X和Y分辨率为10 nm, Z为50 um,旋转时可以0.1微米为增量调节。此外,该工具还集成了数字电子束(DEB)资产,在临界尺寸(CD)测量中实现了无与伦比的精度。组件组合允许控制、灵活性和可扩展性,使得ELECTROGLAS 2080非常适合各种晶圆探测和工艺开发需求。Prober符合航空等级,具有坚固的设计和材料,可在恶劣的生产环境中获得最佳性能,确保准确性和可靠的数据采集。
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