二手 ELECTROGLAS / EG 4090u #9205869 待售
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ELECTROGLAS/EG 4090u是一种用于半导体工业的高分辨率晶圆检测的高精度螺杆。它具有高速开环伺服驱动设备和耦合运动的高精度扫描定位。它有一个全封闭的六轴运动系统与加速度计和编码器反馈更高的精度和均匀性。EG 4090u能够处理尺寸不超过200 mm的基板,最大探测高度为75 mm。ELECTROGLAS 4090 U的长鼻镜最大放大倍率1000 x,分辨率高达0.83nm。它有一个提供亮场、暗场和可变对比度图像的集成照明单元。它还具有独特的高强度聚焦机,在扫描和导航过程中稳定图像。显微镜工具能够容纳大范围的探测配件,包括荧光成像的入射光源。4090u还具有先进的表面分析资产。它采用光学干涉测量来表征对称和非对称地形的表面地形。它具有很高的时间分辨率,可以测量热力学表面特性和接触垫几何形状的定量映射。ELECTROGLAS 4090u还配备了用于安全样品支架安装的静电夹紧模型。用户定义了对夹紧和解缩施加的力。样品支架反向兼容SEMI标准,包括E99.1和E130.4090 U与广泛的第三方自动化系统和软件包兼容。这为用户提供了与现有系统集成和兼容的更大灵活性。此外,它还支持SEMI-ATL、SEMI-PSR/GAT和SEMi-MOS等一系列外形规格标准。ELECTROGLAS/EG 4090 U prober是一种先进且高度精确的晶圆检测工具,支持最新的标准和自动化解决方桉。其高分辨率探测、光学干涉测量和静电卡盘的结合,使其成为许多半导体制造应用的理想选择。
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