二手 KARL SUSS / MICROTEC PA 300 #9353318 待售

ID: 9353318
晶圆大小: 8"-12"
优质的: 2003
Prober, 8"-12" 2003 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC PA 300是为满足1.5 μ m-5 μ m探测高端IC需求而设计的处理器。它非常适合执行过程监控、晶体管表征、晶体管传输曲线、晶圆监控、边界扫描监控以及各种设备和组件的测试。此prober提供了高水平的准确性和可重复性。其自动化晶片处理能力、低冲击力、快速热循环和高探测速度使其在高端IC生产中表现出色。MICROTEC PA 300是一种自动化的、多轴晶圆prober,具有prober底座、晶圆架、探头、晶圆映射设备和运动控制系统。其多轴运动控制单元允许复杂的运动和探测运动。这台机器保证了高精度和可重复性在长时间运行.其晶圆座是一个双版本的顶板和底板,设计方便和安全的晶圆处理。KARL SUSS PA300具有快速、高分辨率的热循环工具,用于快速的过程监控。资产的周期时间为5-60秒,具体取决于温度范围,VCC加热速率(最高为65°C/s)可确保快速测量。温度循环通过精密闭环Peltier控制完成。Prober还有一个洁净室兼容性选项,通过保持站台无灰尘和控制良好的环境来确保有效的工作环境。此模型还具有高级自动恢复功能,可在模型或探测过程出现故障时不断监视工作站并自动恢复其设置。KARL SUSS/MICROTEC PA300总探测速度为2.25 m/s、0.5 μ m轴可重复性、0.9 μ m线性误差、5 cm/s电机速度和0.5 μ m编程分辨率。利用先进的机械臂将探头移动到探头放置坐标。其自动晶片处理功能允许使用卡带设备和具有1000毫米径向触角的机械臂快速交换晶片。综上所述,PA300是一个高度精确和可靠的prober,设计用于1.5 μ m-5 μ m探测高端集成电路的需求。其自动化晶片处理、快速热循环、高分辨率和强大的运动控制系统使其成为复杂探测和过程监控任务的理想解决方桉。
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