二手 KLA / TENCOR 1007 #9012498 待售
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KLA/TENCOR 1007是用于自动缺陷检测和计量应用的最先进的探测设备。它是一种自动化的光学显微镜工具,设计用于半导体工业中的精密晶圆级分析。它允许快速分析半导体晶片的电气特性,而无需手动操作和/或处理每个模具。KLA 1007 prober具有100 mm和150 mm晶圆兼容性、自动对接、自动化站点识别、优化样品传输、可变高度气动、高级成像和第三方工具集成等特点。该prober能够收集晶片和单个模具的极细分辨率图像,以进行更深入的分析。TENCOR 1007的设计可以容纳多种基板,包括绝缘体上的硅、砷化氙、环氧化硅、蓝宝石上的硅等。此外,其灵活的设计允许范围广泛的温度变化,使操作从-45°C到+125°C。能够容纳大的氧化氙(BeO)和蓝宝石-硅(SaSi)晶片,由于它们的厚度,是这种试剂的一个关键特征。该系统提供了一个可靠且可重复的对准程序来检查每个模具。1007提供灵活探针卡样式和自动接触算法的平台,通过提高精度和产量确保产品完整性。内置的扩展电缆组件减少了维护需求,而其四指驱动功能可实现更高的吞吐量,并保证定位精度。利用内置的Cam-iVision应用程序包,该单元能够进行各种精确的测量,同时收集各种大幅面图像。Cam-iVision软件包还提供自动扫描模式、自动晶圆边缘查找和数据分析功能。总体而言,KLA/TENCOR 1007 Prober提供卓越的电气缺陷检测和计量性能,同时简化了分析过程。作为一台综合性机器,它提供多种特性和功能,旨在确保最佳设备性能和晶圆利用率。
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