二手 KLA / TENCOR 1007 #9150404 待售

KLA/TENCOR 1007是一种半导体晶片检验和计量工具，设计用于精确分析用于制造集成电路的光刻光刻工艺所产生的图样硅片。KLA 1007 Prober利用先进的光学、图像处理算法和各种计量软件来测量晶圆上模式的详细参数。TENCOR 1007 Prober设备由机器人定位晶片级、图像采集和照明光学、专用光源和成像模式、多种晶片检测和计量（IM）软件算法以及强大的数据处理和分析软硬件组成。该系统的设计目的是在过程监测、产量分析和故障分析等各种计量应用中提供极其精确的测量。Prober包括一个先进的图像分析单元，用于检测光刻误差，如过切、底切、桥接和其他结构缺陷。它还使用白光干涉法对表面特征进行三维分析。可以修改Prober以包括"自动缺陷分析"（ADA）选项,该选项可以检测、分类和测量单个图像中的几何和结构缺陷。该机器还包括一种专有的高对比度检查（HCI）模式，该模式改进了对细微且往往难以检测异常的检测。Prober还包括一套全面的计量学算法，旨在检测、确定大小和分析各种各样的图桉和形状缺陷。它可以执行线宽、临界尺寸（CD）和临界尺寸均匀性（CDU）等全局测量,以及更高级的测量,如线缘粗糙度（LER）、堆栈测量和辅助特征分析。为了进一步的过程控制，Prober具有基于配方的基板映射等功能，可以快速准确地映射整个晶圆。1007 Prober兼容各种光掩码、抗蚀剂和蚀刻化学，可与SEM平台集成，用于数据的跨平台验证和关联。Prober全面的度量数据报告提供了完整的可追踪性,以实现改进的过程控制、快速的产量改进和准确的特征量分析。总体而言，KLA/TENCOR 1007 Prober在晶圆计量和半导体制造工艺优化方面设定了一个标准。