二手 KLA / TENCOR 1201 #9122036 待售

KLA/TENCOR 1201是一种高性能、自动化的prober，用于对半导体晶片或芯片上的金属化图样、光刻和氧化物/聚酰亚胺层进行精确映射和计量。为准确的缺陷分析和过程控制提供了准确性和可重复性。标准的KLA 1201具有自动晶片处理程序、具有FastScan探测功能的加载算法级,允许非接触式探测与光学识别对准。双级运动机构为大型晶片提供了平稳准确的刀具定位和广泛的工作×范围。利用8个探针启用探针阵列,分辨率为332 x 445 µm,用于超细螺距探针。TENCOR 1201还具有自动化的焦点优化和真实的平坦度测量功能。1201提供了许多功能来提高生产率和吞吐量。视差映射、多层映射和ProbEncoding技术为映射半导体层提供了速度和精度。自动化模块提供高效的过程执行,结合了高速、工具精度和平滑的平台运动.CoaXPress CXP4接口最多支持4个摄像头,用于集成应用程序。此功能允许快速传输数据,每个摄像头的TDI数据速率高达5.0 Gb/s,并且具有高度可配置的系统。KLA/TENCOR 1201配备了许多功能，提供晶圆的精确对齐，确保清晰的图像质量。先进的SmartAlign TM系统执行高速晶片几何测量和快速自动对焦,用于晶片和模具基图检查。其他功能还包括AutoAlignTM,用于晶圆地形的模具级对齐补偿,并提供灵活的平台以最小化调度时间并降低pri测试成本。MACROTEK传感器技术可实现模具级精密配准,配准精度为3.3 µm@3 sigma。先进的探头设计包括单面和双面接触臂，多个x-y精细定位阶段，以提高吞吐量和测量精度。KLA 1201 prober用于半导体铸造厂分析晶圆上的微观元件，也用于业务连续性/灾难恢复、光掩模维护、过程控制和故障排除。它非常适合半导体制造,具有提高效率、精度和一致性的特点。