二手 MICROMANIPULATOR 6600 #9272821 待售
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ID: 9272821
Probe station
With isolation table
Includes:
(6) Collet shaft assemblies
O-rings
(2) MICROMANIPULATOR 450
(2) MICROMANIPULATOR 550
(35) Picoprobe tips:
12C-4-10
12C-1-22
12C-4-22
18B-4-20
18B-4-10
18B-4-20
(5) 12C and 18B picoprobes probe gain
Gomco vacuum for probe station
Air compressor for isolation table
Hot chuck
KINETIC Systems isolation table
With granite slab
(4) Picoprobe controllers
Objectives: 2.25x, 8x, 25x, 50x, 10x Eyepieces.
MICROMANIPULATOR 6600是一款先进的PROB,设计用于先进的半导体工艺分析。它是一个高精度、高性能的平台,使用一系列内置传感器来收集和分析来自半导体过程的数据。6600能够测量和控制过程环境和被测基板的温度。它采用三通道温度控制,温度在-50至+190摄氏度之间。机载自动校准意味着随着时间的推移可重复分析。它还具有± 0.05°C的低漂移速率,保证了高精度的温度控制。除了温度控制,MICROMANIPULATOR 6600还具有广泛的其他功能,旨在优化过程控制和分析。例如,它的自动同步和自动聚焦功能允许prober尖端与正在测量的基板特征精确对齐。自动归零、自动偏移和自动粗糙对齐可确保在设备使用寿命内保持准确性。6600还具有高级扫描控制系统,其中可以同步多个探头以自动获取数据。该设备可配置为标准扫描速率和快速扫描速率以获得最大性能。此外,还可以使用扇区扫描和跳过扫描来减少收集的数据总量。MICROMANIPULATOR 6600的其他特性包括非接触式行程监控、精确升力控制、2通道电子束偏置控制、碰撞检测、临界过程流数据报警机和过温保护。该工具与多种数据格式兼容,为用户提供了以多种方式分析结果的能力。6600是半导体工艺分析的有力工具。其先进的控制功能、高精度的传感器阵列和广泛的功能使用户能够详细捕获和分析数据,以实现最佳的过程控制。
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