二手 MICROMANIPULATOR PROBE STATION #293634835 待售

MICROMANIPULATOR PROBE STATION是一种用于半导体器件全面电气表征的自动化Prober设备。它结合了人工探测的便利性和自动化测试的精确度。自动化PROBE STATION包括定位精度优于5 µm的精密微米、Z轴平移级、XY平移级和旋转级，提供六自由度运动控制。其专门的软件和硬件系统可实现快速晶圆交换和对准,以及精确的电气测量。MICROMANIPULATOR PROBE STATION系统在探测、表征和测试方面具有极大的灵活性。它由三个主要部件组成，一个螺旋桨和两个准备区（用于电气和热调节）。该prober用于对齐和连接测试房间探针到被测试晶片。电气准备区包含执行电气测试所需的元件，而热调节区则设计成可容纳高达300 °C的高温范围。Prober站还可以配备各种附加功能，如静电计、电流测量、电容计等。这些特性用于需要精确电压和电流测量的复杂测试，以及半导体器件的故障分析。除了这些基本部件外，prober站还可以配备多种配件和升级。其中包括电子显微镜、自动晶圆映射单元、自动处理程序和智能光学系统。自动处理程序有助于晶圆交换和对准，而电子显微镜允许观察正在测试的晶圆。智能光学机器用于探头与设备的精确对准.PROBE STATION构成了集成电路电气表征的可靠自动化平台，实现了广泛的测量、详细的检查和分析。其特性和组件的灵活性在广泛的半导体应用中获得准确、全面和可重复的结果非常有利。