二手 SEMICS Opus II #9134401 待售

SEMICS Opus II是为半导体检查而设计的扫描电子显微镜（SEM） prober。它能够测量阈值电压、栅极泄漏电流和信道载波移动性等电气参数，以及小面积表面拓扑的测量。螺旋桨的大尺寸使它能够同时测量同一晶圆上的多个设备，而机器的精度和精确度允许精确测量。Opus II由一个真空包络、一个梁柱和舞台组件、一个探测站和一个标本架组成。真空包络作为一个环境，被测试的样品可以保持在真空。光束柱和舞台组件容纳了电子光学元件，即电子枪源、电磁透镜和目标组件。探测站的设计是为了将探测仪精确地安装和操纵到试样表面。它还包含被测装置的偏置和电气测试所需的电子设备。标本架作为热源，设计为一次最多可容纳四个晶片。SEMICS Opus II利用场发射扫描电子显微镜（FE-SEM）。这类SEM利用电子枪而不是常规的热电子源，这意味着它不受热能效应的限制。FE-SEM能够提供小型表面拓扑的详细图像,还可以对小型设备进行电气测量。Opus II还提供各种支持功能，使准确测量被测设备成为可能。可以自动校准样品表面,以精确地将探针放置在设备上。它还允许背面和正面成像，以及电气测试，来测量诸如阈值电压、电阻率和电容等参数。SEMICS Opus II是一款先进的prober，旨在为半导体器件提供可靠准确的测试结果。它能够测量同一晶片上的多个设备，能够提供小表面拓扑的详细图像以及精确的电气测量。它是检测和测试半导体器件性能的有效工具。