二手 SEMICS OPUS III SL #9152235 待售
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ID: 9152235
晶圆大小: 8"-12"
优质的: 2013
Flat type hot prober, 8"-12"
First linear stage system
High accuracy / High performance
Cassette map with camera
GUI based on Windows
Soft contact: Low "K" device
Easy maintenance
VNC Support
Probe mark inspection
Main body:
System I/F: GPIB
Foup, 12"
Hot chuck, 12"
OCR Unit: SEMICS
Stage:
Card changer: Auto card changer: 350 mm
Head plate: Top head plate with auto tilt
Align camera:
Macro camera
Micro camera
Loader:
Arm: Arm 1, 2
Rotation unit: 360° Turn table
Elevator unit: 330 mm
Stroke AC servo motor
Wafer recognition unit: Camera
Fixed tray: Tray 1, 2
Inspection tray: Tray 1
Computer:
CPU: Pentium 4.2 GHz
Storage / Memory: 80 G HDD / 2G
Monitor: Touch screen, 15"
Operating system: Windows XP
Basic function:
PMI
PTPA
PTMA
PTPO
Needle polish
OCR
Manipulator:
Type: Hinge manipulator
Basic specification:
X, Y Stage:
Overall accuracy: ±1.5 μm
Probing area:
X: ±170 mm
Y: ±165 mm
Max speed: 300 mm/sec
Index time: 160 mm/sec / 10 mm
Resolution: 0.035 μm
Z Stage:
Withstand load: 300 kgf
Control accuracy: ±1 μm
Resolution: 0.18 μm
Full stroke: 30 mm
Speed: 50 mm/sec
Θ Axis:
Rotation range: ± 6º
Accuracy: ± 0.0002º
Resolution: 0.0025 μm
Chuck:
Planarity: 10 μm
Temp range: Ambient ~ +150°C
Temp accuracy: ≤ 100°C: 0.5°C
Air / Vacuum: External diameter tub: Φ 6 mm, 1 Line
Interface kit: ND3
Power:
Input power: 200~240 VAC
1 Phase (3 Wire)
Frequency: 50/60 Hz
Current: 25A
Air: 0.5 Mpa, 100 liter/min
Vacuum: -70Kpa ~ -100Kpa, 20 liter/min
2013 vintage.
SEMICS OPUS III SL是专门为测试PCB、MCM和IC上的互连而设计的prober。它具有超低质量、低惯性探头的高精度探头,并具有独特的多棘轮探头组件,可与样品进行可靠和可重复的接触。它还具有定制设计的低噪声、低温、低振动扫描级,可用于更全面的探测解决方桉。OPUS III SL适用于各种应用,包括PCB测试、单个元件的探测、表面安装组件测试、晶圆测试、IC封装测试和封装检查。该系统具有高度精确的探测功能,可与样品进行可靠且可重复的接触。设计了低质量、低惯性探头，以优化短路和开路探测。具有大X和Y行程范围和多个棘轮组件的灵活扫描阶段,可以对样品进行准确、可重复的探测。Prober旨在快速扫描大面积区域,并具有用户友好界面和直观的图形用户界面,以及用于自动化的内置脚本功能。SEMICS OPUS III SL支持广泛的电气探测技术，如电阻测量、电容测量、电流源测量和功率测量。它还具有降低接触弹跳、低温扫描和振动补偿等系统级容错功能。可选的高分辨率摄像头可对样品进行快速、准确和可重复的光学检查。OPUS III SL具有可配置的硬件，可以升级以满足客户的特定需求。它还支持测试夹具、探针卡、适配器、长凳等各种客户配件。它还拥有全面的机械和电气安全系统，用于在测试期间防止短路、过压和过流情况。SEMICS OPUS III SL是完成广泛探测解决方桉的理想工具。对于任何快速或复杂的测试设置,它都是一种高度精确、可靠、可重复且经济高效的方法。OPUS III SL具有多种功能和用户友好的界面,是寻求从其探测项目中获得最大收益的专业人员的完美工具。
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