二手 SEMICS Opus3 #9223053 待售
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ID: 9223053
晶圆大小: 8"-12"
优质的: 2015
Wafer prober, 8"-12"
Linear stage system
Foot print with flat top
Cassette map with camera
GUI Based on windows
Wafer change & index time
Soft contact for low "K" device
VNC Support
Probe mark inspection
Main body: Ambient and hot (Up to 150°C)
System interface: GPIB
Stage:
FOUP: 12"
Chuck: 12" (Hot chuck)
OCR Unit: SEMICS OCR
Auto card changer: 480 mm
Card holder: 350 mm (Steel holder)
Needle clean unit: 200 mm X 100 mm Ceramic plate (Load 30Kg)
Alignment camera: Macro camera
Loader:
Arm: Arm 1,2
Rotation unit: 360° Turn table
Elevator unit: Stroke AC servo motor, 330 mm
Wafer recognition unit: Camera
Fixed tray: Tray 1, 2
Inspection tray: Tray 1
Computer:
CPU: Pentium 4 4.2 GHz
HDD: 80 GB
Memory: 2 GB
Monitor: 15" (Touch monitor)
Operating system: Windows XP
Basic function:
PMI
PTPA
PTMA
PTPO
Needle polish
OCR
X,Y Stage:
Overall accuracy: ±1.5 μm
Probing area X,Y: ≤165 μm
Maximum speed: 300 mm/sec
Index time: 160 msec/10mm
Resolution: 0.035 μm
Z Stage:
Control accuracy: ±1 μm
Resolution: 0.18 μm
Full stroke: 30 mm
Speed: 50 mm/sec
θ Axis:
Rotation range: ±6°
Accuracy: ±0.0002°
Resolution: 0.0025μm
Wafer handling:
Thickness: 180 μm to 2000 μm
Die size: 350 μm to 100000 μm
Chuck:
Planarity: 15 μm
Temperature range: Ambient to +150°C
Temperature accuracy: 100°C : 0.5°C
Computer:
CPU: 15 Dual core 2400 3.0GHz
Storage memory:
HDD: 500 GB
RAM: 3 GB
Utility:
Air pressure: Above 0.5 Mpa, 100 Liter/Min
Vacuum pressure: -70 Kpa ~ -100 Kpa, 20 Liter/Min
Air vacuum external diameter tube: Ø6 mm, 1 Line
Power: 200 ~ 240 VAC, 25 A, 1 Phase, (3 Wire), 50/60 Hz
2015 vintage.
SEMICS Opus3是一种通用Prober,用于支持测试和探测各种设备包,如DC、逻辑和电源设备。它采用多释放头配置,可同时探测多达四个侧面或最多三个层。借助高精度的头部对准,也保证了最佳性能。使用开放式框架体系结构制造的prober还能够在很小的区域或占地面积内有效地支持各种流程。由于包括热膨胀补偿特征，高温试验时也能达到很高的稳定性。SEMICS OPUS 3附带了多种测试处理程序可供选择，如其Multi@@-Handler@@-GT、Multi@@-Handler@@-FL和Multi@@-Handler@@-GPL。此螺旋桨中还包括气动控制的真空夹具、支持视觉对准的专有图像处理功能以及高度精确的无碰撞Z机械手。此外,Opus3还能够从使用接触指向技术的IC芯片获取定向信息,并具有"源定向识别"功能。除了其常规的测试和探测功能外，该prober还配备了多种软件来促进设备编程和测试。其中包括Optic InstruX （OIX）、探测和测试优化工具（TPTO）、网络支持工具（NST）、Prober级远程接口工具（PLRIT）、设备设置工具（EST）等。而且，探头、卡盘适配器、视觉模块、插值器等一系列附件也可用于更好的控制和操作。通过所有这些功能,OPUS 3被证明是对各种设备包进行高效测试的理想解决方桉。从探测、测试到编程，所有操作都可以以最大的精度和速度进行。
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