二手 TEL / TOKYO ELECTRON 19S #9281922 待售
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ID: 9281922
Prober
X-Y Stage
Stroke: 184mm x 382mm
Speed: 125mm/sec
Resolution: 0.25µm
Z Stage
Stroke: Max 15mm(50µm probing)
Speed: 62m/sec (up-down)
Resolution: 5.0µm
Angle of rotation: Max ±10
Control resolution: 0.52µm (0.000477)
Driving method: Stepping motor system utility
Air: 4.0kg/cm²
Min: 5l/min
Max: 30l
Vacuum: 400~700mm/hg
Ambient conditions:
Temperature: 25°C ±3°C
Humidity: 65%
Wafer size: 3"-6" diameter
Chip size: 250 - 99999µm
Wafer thickness: 300~1000µm
Direction of probing:X Axis
Overall accuracy:15µm Max/6"
Power: 220 VAC(+20% to 5%) 1.5kVA.
TEL/TOKYO ELECTRON 19S是为半导体集成电路(ICs)和片上设备(SoCs)等纳米级器件的表征和测试而设计的prober。该prober具有图像捕获系统,用于对微小型和纳米级设备进行高分辨率成像,用于故障分析、逆向工程、产量改进、可靠性分析以及其他需要对设备进行详细目视检查的应用。TEL 19S将先进的电气探测系统与精密矢量网络分析仪(VNA)和一系列可编程测试插座结合在一起,以便为各种设备类型和大小提供电气特性。该程序还包括用于射频(RF)测试、光学器件表征和电路定时分析的附加光电测试系统。TOKYO ELECTRON 19 S最多支持8个测试定位器,允许多个同时的模具探测操作。Prober的图像捕获单元还提供了许多高级成像功能,如自动2D和3D测量、缩放/平移第一失败分析、感兴趣的区域(ROI)成像、区域扫描和缝合、薄膜沉积厚度测量以及X射线模式比较。通过将光学和电气测试功能相结合,19S可以定量分析被测设备的性能,并提供可靠的数据以及对其状况和结构的详细可视化表示。TOKYO ELECTRON 19S被设计成在广泛的温度范围内运作,包括极低的温度,以及在多种环境条件下运作。它的最先进的温度测量机允许同时监测多达六个温度区,确保在所有测试系统中进行准确和可重复的温度测量。此外,Prober还设计用于轻松设置和程序开发,使客户能够以最小的努力快速创建和部署测试程序。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON 19 S是一个高度先进的推进器,能够在各种设备上提供全面的电气和光电测试。19 S通过将一系列精密传感器、矢量网络分析和成像系统合并到一个软件包中,为纳米级设备的表征和测试提供了前所未有的准确性和可靠性。
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