二手 TEL / TOKYO ELECTRON 20S #9069027 待售

TEL（TOKYO ELECTRON）TEL/TOKYO ELECTRON 20S是为半导体生产而设计的手动模具。Prober以40 x 40毫米悬臂为特色，半径为5微米，均匀的静态和动态平坦度为2微米或以下。手臂安装在5毫米厚的不锈钢框架上，该框架用垂直和水平稳定器进一步加强。它的两个独立和可独立操作的五轴电机级以0.00017度的分辨率运行。Prober配备了样品加载系统、真空调平晶片级以及3D显微镜和激光对准系统。TEL 20S在所有五个轴上均具有卓越的运动精度和0.1微米以下的可重复性。其可调样架和调平器可支撑15mm-215mm晶圆，最大升力为12微米，创造高效准确的样本量检测和对准。TOKYO ELECTRON 20S还支持使用多区域温度控制的常规测试和快速热处理（RTP）。它有三个不同的区：样品和加热器、卡盘和晶圆.Prober具有广泛的可编程参数范围，包括压力、位移、电压、时间和温度。20S的设计考虑了可靠性和性能。其轻质框架防止振动干扰，其强制通风系统采用高速低层流设计，以尽量减少空气中的微粒污染。它具有用于快速和高精度运动控制的现场可编程门阵列（FPGA）。TEL/TOKYO ELECTRON 20S还设计了多种安全功能和充足的内置测试和测量功能。Prober提供高效的热控制系统,能够控制温度降至-60°C和+400°C。最后,它具有简单而直观的图形用户界面,便于操作和配置。