二手 TEL / TOKYO ELECTRON 20SR #9132501 待售

TEL/TOKYO ELECTRON 20SR是一种用于在生产环境中自动探测晶片的prober。用于执行与半导体生产相关的关键步骤。TEL 20SR配备了精密高效晶圆探测的先进技术。TOKYO ELECTRON 20 SR有一个光学对准设备，与一个电动级结合工作，使晶片精确对准指定的位置。这种高效、精确的对准系统在3个σ内实现了15微米的探测精度。该级由高性能控制器驱动,该控制器可实现快速、精确的XY和Z运动,从而提高晶圆的定位精度和可重复性。TEL/TOKYO ELECTRON 20 SR也有一个自动探针单元，旨在提供高探针精度和稳定性。此机器由安装在探头床周围的多个传感器组成,用于检测和识别探头尖端。单轴运动控制工具用于控制探针与样品接触时的针脚,以确保精确的探测。20 SR还配备了集成真空测量资产和多点电压监控模型。真空测量设备在探测操作过程中监测和记录前室的真空水平。多点电压监控系统在一个测量周期内监控所有引脚的电压，使用户能够检测到任何电压异常。20SR还可以配置多源RF单元、厚晶圆套件等各种附件,以增强功能并提高性能。TEL 20 SR具有集成的设计和可配置性,可用于在生产环境中快速准确地探测各种晶片,提高半导体产品的产量和可靠性。