二手 TEL / TOKYO ELECTRON 20SR #9132519 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON 20SR prober是为半导体晶圆能级测试而设计的最先进、超高精度晶圆prober。它能够处理各种晶片基板,从薄膜晶体和商用硅片尺寸到200毫米。TEL 20SR prober是用高度可靠的设计和虚拟的晶圆探测程序库构建的。它具有很高的灵活性,能够检查各种测试场所,包括集成的纳米结构和具有先进纳米技术功能的5 µm以下的微观结构。TOKYO ELECTRON 20 SR prober具有高精度、高稳定性和最小热漂移的稳健设计。它能够达到非凡的平坦度,并且能够在<10倍的沉降时间内提供可靠的测试结果。该设备最多可容纳14个样品容器,其集成摄像头系统允许用户在测试每个样品时进行监控。它还具有基于Windows的直观图形用户界面和自动诊断功能,可快速轻松地进行故障排除。TEL 20 SR prober利用两种不同类型的光学元件。第一种是聚焦的纳米结构和集成结构红外共焦测量,第二种是可视化检查的顶视图光学显微镜。这些技术的结合使得prober能够准确测量电路元件的大小、形状和位置,并检测元件的空位、阴影和翻转。Prober的光学分辨率高达8µm,其集成电路最大限度地减少了测试站点之间的串扰。20 SR prober能够产生高精度的X、Y、Z运动,定位精度为0.01µm。其先进的成像单元集成了高分辨率CCD相机和双目显微镜机,允许精确定位探针以获得最佳读数。此外,该探头利用高精度的宽度和高度测量来定位和探测集成基板内的空腔。这样可以确保所有测试结果准确可靠。总体而言,20SR prober是一种先进、可靠且功能强大的晶圆测试工具。它为半导体制造测量提供了一个通用、灵活的平台,它能够同时处理多个样品,同时保证质量,从而确保测试的最高精度和精度。
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