二手 TEL / TOKYO ELECTRON 78S #9114134 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON 78S (TE TEL 78S)是一种为晶圆探测而设计的prober,称为晶圆探测。该prober能够执行广泛的晶圆探测应用,如电气参数测试、设备表征和电气可靠性测试。TE TOKYO ELECTRON 78 S的设计精确度很高,使其能够在DRAM和CMOS器件等硅晶片上快速准确地测试多种元件。Prober的主要特点是其三轴定位能力。它能够为各种测试应用定位用于电气连接的各种探头。它使用双参考探测设备(DRPS),补偿晶圆表面的平面变化,使探针与测试结构精确接触。通过减少接触回弹并确保在整个探测过程中保持良好的接触,这确保了较短的周期时间和更高的数据准确性。除了定位系统外,TE 78 S还具有顶层探测位置的X、Y、Z轴以及精调的R、P轴等五个运动控制系统。这种装置用于在晶圆上进行直观和可重复的探针设置,从而提高了精度和可重复性。它可以支持高达25毫米/秒的各种速度,分辨率为0.1 um。TE TEL/TOKYO ELECTRON 78 S还具有多项高级功能,包括可编程高压保护单元和可选的对准扫描仪。保护机器允许精确的电流流过探头,防止设备损坏,保护测试人员免受电击。对准扫描仪是一种高速视觉工具,用于将探针与测试结构对准,减少接触故障和循环时间。TE TEL 78 S还配备了辅助支持系统,如干燥资产、可选的自动错误回收模型以及内置的数据采集设备。干燥系统在进行任何测试前使用加热的氮气干燥晶片中的任何水分,而回收单元则检测并纠正探测过程中的任何错误,才能影响测试结果。数据采集机允许测试电压、电流和电容等参数。TE TOKYO ELECTRON 78S是一种功能强大、用途广泛的晶圆探测器,专为精确、精确的晶圆探测应用而设计。它具有多种功能,非常适合各种测试要求,提供可靠性和准确性。TE 78S是任何要求苛刻的测试应用程序的绝佳选择。
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