二手 TEL / TOKYO ELECTRON P-12XL #293618550 待售

ID: 293618550
Wafer prober, parts system.
TEL/TOKYO ELECTRON P-12XL prober是半导体製造工业中使用的精密工具,有助于确保半导体晶圆的性能和可靠性。Prober使用利用3级温度控制系统的操作设备,带有三个独立的温度传感器,在大面积的晶圆上提供高精度和精确度。该单元还具有1000mm x 800mm的大可用面积,允许探头在进一步处理晶片之前检查和识别晶片上的任何潜在缺陷和不规则性。TEL P12XL prober配备了高精度的舞台控制和准确度,以确保缺陷识别和测量在广域内的准确度,而不会出现任何错位。具有XY、UV、五轴级扫描和过程控制,XY-Drive位置重复性为0.01µm,Z-Drive位置重复性为0.001µm。此外,螺旋桨在大面积上的位置精度为± 0.01mm,对于缺陷映射至关重要。TOKYO ELECTRON P 12 XL prober也有先进的自动缺陷识别和修复实时追踪机。此工具可利用硬件和软件损坏识别、2D激光和3D扫描以及高分辨率成像资产,快速检测缺陷。这样可以确保快速准确地识别晶片上发现的任何缺陷,从而使用户能够对任何缺陷条件或不规则性快速做出反应。TEL P-12 XL prober是半导体制造工艺的理想工具,提供高精度和精确度,以保证半导体晶片的可靠性和性能。利用先进的实时跟踪模型和精密级控制,P-12 XL prober能够快速准确地检测和识别任何潜在缺陷,成为确保半导体制造质量控制的宝贵工具。
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